超纯水设备完全能满足电子级超纯水的水质标准,其核心参数和工艺设计均针对高纯度需求优化。以下是关键参数与标准的对应关系:
一、核心参数与标准匹配
电阻率:电子级超纯水要求电阻率≥18MΩ·cm,设备通过反渗透+EDI工艺实现,如邦泽设备产水电阻率达18MΩ·cm,奥深设备同样达到此标准。
脱盐率:需≥99.9%,澳维RO膜截留分子量1000万,孔径0.0001μm,邦泽设备脱盐率99.9%,奥深设备脱盐率同样为99.9%。
产水量:根据需求定制,如时州设备产水量0.5-100m³/h,瑞垚环保设备产水量100m³/h,邦泽设备制水量200L~10T/H,奥深设备制水量200L~10T/H。
工艺组合:反渗透+EDI技术可连续制水,避免酸碱再生,符合环保要求。
二、设备实例验证
澳维RO膜:适用于电子化工领域,操作压力4.14MPa,工作温度5℃~45℃。
时州设备:全自动运行,出水硬度0.03mg·N/L,工作温度25℃。
瑞垚环保设备:电导率0.055S/m,水电阻率18MΩ·cm。
邦泽设备:制水量200L~10T/H,脱盐率99.9%。
奥深设备:制水量200L~10T/H,脱盐率99.9%。
三、标准依据
GB/T 11446-2013:电子级水标准,要求电阻率≥18MΩ·cm。
ASTM D5127-07:电子学和半导体工业用超纯水标准指南。
