蒸发制水的历史渊源流长，其又被称蒸发法，是人们*早采用的脱盐技术，早期主要用量蒸馏水的制取，近代工业逐渐用于电厂或大型工业锅炉供水。

蒸馏法是利用水样中各污染组分具有不同沸点而使其彼此分离的方法。蒸馏法中又分单效蒸发、多效蒸发、单级闪蒸、多级闪蒸和气压式蒸馏等。

由于蒸馏法能有效地除去水中细菌、热源和其他绝大部分有机物质，且简单、易行、可靠，因此成为制备注射用水的法定方法。我国《药品生产质量管理规范》要求，能够使用水处理药剂的制备必须采用蒸馏法。用蒸馏法制备水处理药剂的关键设备为蒸馏水机过去较多使用塔式重蒸馏水机，但由于其蒸汽和冷却水耗量偏高，已逐渐被淘汰。

目前较常使用的为多效蒸馏水机，部分厂家则已开始采用气压式蒸馏水机。在同样的出水质量下，塔式重蒸馏水机对进水的水质要求比多效蒸馏水机、气压式蒸馏水机高。此外，影响蒸馏水成本的主要因素是制备蒸馏水的蒸汽耗量和冷却水耗量，仅此两项约占成本的65%-70%。多效蒸馏水机的蒸汽和水处理药剂单耗都远低于塔式重蒸馏水机，而气压式蒸馏水机又低于多效蒸馏水机。考虑到操作的简便性及多数制药厂的设备维护能力，目前国内对于多效蒸馏水机的使用较为普遍。